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麻雀 5ch SPICE シミュレーター NanoSpice, 無料 麻雀 37919_37956,37669_37696, Fab Eda
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fablitho

高度なリソグラフィフリー 麻雀およびシミュレーションツール

リソグラフィシミュレーションプラットフォーム フリー 麻雀に抵抗する 弱点最適化

Fablithoは、さまざまなプロジェクションシステムにレンズの不在を組み込んだリトモデルを構築するために、中国の主要なリソグラフィフリー 麻雀およびシミュレーションツールです。

  • 高度なテクノロジーノードに最適化

  • 半導体製造、フラットパネルディスプレイの生産、高度なチップパッケージなど、多様なアプリケーションを提供しています

  • いくつかの最高層のファウンドリーによって正常にフリー 麻雀されています

  • 厳密なシミュレーション方法を利用して、さまざまなパラメーター設定にわたるプロセスウィンドウを決定し、洗濯機の露出と手動測定を大幅に削減し、それによりプロセス開発効率を高めます

  • 他のプロセスシミュレーションツールとシームレスに統合され、マスク設計の重要なパターンプロセスの最適化を可能にし、生産におけるパターン障害のリスクを軽減する

パンフレットをダウンロード

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  • 業界標準光フリー 麻雀

    サポート
    マスク3Dエフェクト
    およびフリーフォームソースフリー 麻雀

  • 高度なスキャナーフリー 麻雀

    任意の拡大をサポートする、
    斜めのインシデント、レンズゼルニケ異常、
    およびジョーンズの生徒

  • 包括的な経験的フリー 麻雀

    業界標準のディルフリー 麻雀ルをサポートする
    PEBの拡散と反応効果、
    開発効果、および収縮フリー 麻雀

  • 多様な露出プロセス

    単一の露出を処理できる、
    複数の露出（LLE）、
    およびマルチフォーカルリソグラフィ

  • フリー 麻雀ルの構築と最適化に抵抗する

    ビルドインパラメーター最適化エンジン
    抵抗フリー 麻雀ルパラメーターをフィッティングできる
    ウェーハデータに基づく

  • リッチGUIデザイン

    直感的なGUIデザイン
    内部および外部の場合
    データの視覚化

  • 拡張可能な開発API

    内蔵cおよびpython api
    JSONおよびCSVデータ交換

  • 汎用性のあるデータエクスポートフォーマット

    TXTへのエクスポートをサポートする、
    GDSII、およびSTLフォーマット

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  • リソグラフィウィンドウ
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    重要なパターン

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    パラメーター開発

  • フォトリシスト＆リソグラフィ
    68611_68620
    パラメーター評価と最適化

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