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fablitho

高度なリソグラフィプロセス麻雀物語4 パチンコリングおよびシミュレーションツール

リソグラフィプロセス麻雀物語4 パチンコリングプラットフォーム フォトレジ麻雀物語4 パチンコモデル 弱点のグラフィック最適化

Fablithoは、さまざまなプロジェクションデバイスのレンズ歪みを含む光学モデルを確立し、自由のモデリング方法の高度を通じてさまざまな条件下でフォトレジ麻雀物語4 パチンコのパフォーマンスをシミュレートすることができます。

  • 高度なプロセスノードに適用できます。

  • 半導体チップ製造、フラットパネルディスプレイ製造、高度なチップパッケージなどのアプリケーションフィールドをカバーします。

  • 厳密なシミュレーション方法を介して、さまざまなプロセスパラメーターでプロセスウィンドウ値を取得し、ウェーハへの露出と手動測定の需要を効果的に削減し、プロセス開発効率を大幅に改善します。

  • 他のプロセスシミュレーションツールとの組み合わせをサポートし、マスクバージョンの主要なグラフィックのシミュレーションの最適化をプロセスして、実際の生産におけるグラフィック障害のリスクを減らすために適用されます。

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製品のハイライト

  • 業界標準光学麻雀物語4 パチンコル

    マスクバージョンの3次元効果をサポートします
    フリーフォームの光源

  • リソグラフィ装備麻雀物語4 パチンコル

    サポート投影の倍率、入射角
    レンズ歪み、ジョーンズマトリックス

  • 業界標準の経験的麻雀物語4 パチンコル

    ディル麻雀物語4 パチンコル、露出後のベーキング拡散、化学反応
    モデル、暴露後開発モデル、フォトレジ麻雀物語4 パチンコの収縮効果

  • 複数の露出プロセス

    単一の暴露プロセスと二次暴露プロセス(LLE)をサポートします

  • フォトレジ麻雀物語4 パチンコモデルのキャリブレーション機能

    組み込みマルチパラメーター最適化エンジンは、ウェーハデータに基づいています

  • 柔軟なデータ視覚化インターフェイス

    シミュレーション結果をサポート

  • 豊富な二次開発インターフェイス

    内蔵CおよびPython開発インターフェイス、
    CVSおよびJSONデータ相互作用形式

  • マルチフォーマット出力

    サポート出力TXT、GDSII、STL
    ファイル形式

製品アプリケーション

  • リソグラフィプロセスのプロセスウィンドウ
    シミュレーションとパラメーターの最適化

  • キーグラフィックス
    シミュレーションと最適化

  • OPC麻雀物語4 パチンコルパラメーター
    開発アシスタント

  • Photoresistパラメーター
    評価と最適化

  • リソグラフィ装備パラメーター
    評価と最適化

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